ICP-MS ist eine Revolution in der anorganischen Spurenanalytik. Nahezu alle Metalle und Halbmetalle können damit gleichzeitig sowohl qualitativ als auch quantitativ bestimmt werden.
Während andere Elementaranalysetechniken bei der Multielementbestimmung im unteren Spurenbereich an ihre Grenzen stoßen, zeichnet sich die ICP-MS vor allem durch niedrige Nachweisgrenzen, einen großen linearen Messbereich und schnellen Probendurchsatz aus. Dies macht die ICP-MS zu einem unschlagbaren Instrument in der Multielementbestimmung.